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陽明交大開發「紫外光超穎透鏡」 有助生醫影像、半導體檢測
【記者王良博／台北報導】深紫外光（Deep Ultraviolet, DUV）在半導體與生醫影像等領域應用廣泛，但往往造價不斐而侷限應用，陽明交大開發一款超穎透鏡，能成功駕馭深紫外光，未來有望用於矽光子元件加工製造、生醫影像檢測及半導體檢測等，此一突破也獲選為國際期刊《Nano Letters》封面故事。
陽明交大今（16）日發布新聞稿表示，波長比UVA、UVB還短的深紫外光（DUV），控制元件造價不斐，因此侷限應用，陽明交大電子所開發一款輕薄短小、高效能的深紫外光超穎透鏡（Deep ultraviolet Metalens），厚度僅有380奈米，遠小於人類的頭髮，但光學操控卻能達到深紫外光聚焦的極限。
陽明交大說明，超穎透鏡是一種使用奈米結構，來操作光的透鏡，這款深紫外光超穎透鏡的秘訣，在於首次採用廣泛應用於積體電路的材料「氮化鋁」，具有耐高溫、散熱佳、化學穩定性高，且不吸收深紫外光的特性，實驗證實，此透鏡不但能作為深紫外光影像攝影裝置，拍攝奈米結構，也能完成深紫外光超快雷射雕刻，都是國際上首次利用超穎透鏡完成的研究成果。
投入超穎透鏡研發多年的陽明交大電子研究所助理教授曾銘綸表示，深紫外光技術在基礎科學研究及工業場域，都有重要應用價值，但相關裝置比常見的近紅外光、可見光裝置，還要昂貴許多，例如應用於精密深紫外雷射加工的鏡頭，造價就要百萬台幣。
曾銘綸說，超穎介面是由人造奈米結構組成的光學元件，其中包含數以萬計精心設計的半導體奈米天線，透過調控幾何參數，可精確操控光的產生與聚焦，超穎透鏡則是針對光學應用特別設計的超穎介面，具備與傳統透鏡相似的功能，同時展現更豐富的特性，近年已廣泛應用於全彩影像技術、量子光學及生醫檢測等高精度儀器，也有傳言蘋果將在新一代手機引進。
曾銘綸研發團隊期望，未來能藉由超穎介面輕薄短小、功能多樣性且開發自由度高的特性，實現更多應用，包含矽光子元件加工製造、生醫影像檢測及半導體檢測，也看好由半導體奈米結構組成的超穎介面，未來量產與商業化潛力。
