台積電「點石成金術」 一文看懂零廢中心如何回收廢棄物再利用
【記者蕭文康／台北報導】台積電11月13日在中部科學園區舉辦「台中零廢製造中心商轉 典禮」，揭示台中零廢製造中心所產出的再生產品已成功100%達到允收標準，可再提供給台積電及其他產業作為再利用的原物料，《知新聞》整理一文看懂台積電如何建設4大回收處理廠區及處理流程，實現廢棄資源的「點石成金術」。
零廢製造中心產出的再生產品已成功100%達到允收標準
台積電台中零廢製造中心為全球業界領先並為台灣第一座的整合型能資源循環場域，也是台積電第一座循環經濟示範中心，主要功能在於確保園區廢棄資源不外流，所純化而成的電子級與工業級化學品，可重回台積電製程與其他產業使用，開創嶄新的循環經濟模式。
秉持「減廢最大量、環境效益最大化、管理風險最小化」三大原則，台中零廢 製造中心將協助削減原物料開採需求。台中零廢製造中心試運轉期間，所產出的再生產品已成功100%達到允收標準，提供給台積電及其他產業作為再利用的原物料，成就綠色創新技術的里程碑。
以全廠區滿載計，每年可為台積電減少13萬公噸廢棄物委外處理量，佔公司 中科廠區廢棄物總量的85%以上，創造逾新台幣12億元回收減廢效益。
台中零廢製造中心占地總面積等同於6座標準足球場
台中零廢製造中心座落於中部科學園區，比鄰台積電先進封測五廠，於2018 年取得中部科學園區管理局支持，展開台中零廢製造中心建設規劃、2020年 台積電董事會決議，正式投資建置台中零廢製造中心、2021年台中零廢製造中心啟動建置、2023年台中零廢製造中心試運轉、2024年台中零廢製造中心啟動商轉。台中零廢製造中心建築占地總面積4.5萬平方公尺，約等同於6座標準足球場。
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氟化鈣污泥回收等4大回收處理廠回收過程
台中零廢製造中心由台積電建置廠務中央供應系統，攜手長春石化、成信實業與立盈環保科技等協 力廠商進駐建設4大回收處理廠區。
氟化鈣污泥回收廠：
使用於半導體的蝕刻與清洗製程的氫氟酸，所產生的氫氟酸廢水，經氟酸 化混程序後產生氟化鈣污泥。氟化鈣污泥經旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌，再導入成型機造粒與乾燥後，生成人造螢石，可作為助熔劑應用於鋼鐵業。零廢製造中心氟化鈣污泥回收廠每月收受量為1500公噸，可產出人造螢石量為750公噸。
氧化矽污泥回收廠：
使用於半導體研磨製程的研磨液，所產生的研磨廢水經混凝處理沉降後產生氧化矽污泥。氧化矽污泥以乾燥、焙燒、浸漬程序區分固相與液相，固形物經過再乾燥與表面改質後生成礦石粉，可用於塑膠、陶瓷等工業應用；而液相產品硫酸銅則可做為工業原料。零廢製造中心氧化矽污泥回收廠每月收受量為800 公噸，可產出填料量為480公噸。
有機溶劑熱回收廠：
使用於半導體清洗製程的有機溶劑，用以去除晶圓表面之光阻與有機物。 廢混和有機溶劑經燃燒爐熱裂解後，產生的高溫煙道氣經鍋爐熱回收，產出蒸氣於零廢中心內使用。零廢製造中心有機溶劑熱回收廠每月收受量為1300公噸，可產出每小時15公噸之蒸氣。未來將評估導入煙道氣碳捕捉技術，達成零廢棄、淨零排放目標。
異丙醇回收廠：
使用於半導體清洗製程的異丙醇，用於晶圓清洗與濕式蝕刻製程之乾燥用 溶劑。廢異丙醇經蒸餾去除部份水份後產生共沸，將添加共沸劑破除限制，再精餾成電子級異丙醇。零廢製造中心異丙醇回收廠每月收受量為2300公噸，可產出再生異丙醇量為300公噸。
台灣第一個導入「薄膜碳捕捉技術」的示範場
另外，台中零廢製造中心也是台灣第一個導入「薄膜碳捕捉技術」的示範場域，由於 廢棄物處理過程中產生的廢熱，將轉化為零廢中心的輔助能源，然後再透過薄膜技術進行碳捕捉、減少溫室氣體的排放，並達成以廢養綠的減碳成效。
台積電與環境部合作發展薄膜碳捕捉技術，後續將導入一般廢棄物熱處理(焚化)設施焚化爐，驅動創新的減碳技術。
綠色效益：相當於超過110座大安森林公園的負碳量
台積電位於中部科學園區之晶圓廠區的廢棄物，將於台中零廢製造中心處理並實現資源化。以全廠區滿載計，每年可為台積電減少13萬公噸廢 棄物委外處理量，佔公司中科廠區廢棄物總量的85%以上，創造逾新台幣12億元回收減廢效益。
發展高值化再生物料：台中零廢製造中心將廢棄資源再生成為高價值的工業級原料與電子等級原料，以回到產業/晶圓製程，實現從搖籃到搖籃的循環經濟模式，降低環境負荷。
降低環境衝擊：以環境損益分析(EP&L)價值轉換係數與現行傳統委外處理模式比較，台 中零廢製造中心每年約可減少約新台幣15億元之環境成本(不含前述委 外廢棄物減量之回收減廢效益)，其中包括每年4萬公噸的減碳效益，相當於超過110座大安森林公園的負碳量。
落實廢棄物管理：透過鄰近台積電既有廠區的專區管理，就近監控，確保資源再生程序穩定運作；同時，減少廢棄物委外運輸及處理，以透明足跡降低非法棄置風險。
