台積電攜手供應商優化製氫流程 回用液態二氧化碳高達35000公噸是如何做到？
【記者蕭文康／台北報導】台積電（2330）致力於綠色低碳供應鏈建設，推動供應商回收並再利用製氫過程中的二氧化碳，將其轉化為電子級液態二氧化碳回用於製程，並協助供應商採購碳中和天然氣，減少碳排放，而台積電是如何回用液態二氧化碳高達35000公噸？台積電有以下詳細解析。
台積電回用電子級液態二氧化碳逾3萬5000公噸
首先，台積電推動供應商改造精餾塔管路將被分離的二氧化碳導回塔內再純化，因應先進製程演進使氫氣需求量增加，為擴大供應鏈原物料管理中的碳捕捉機會點，台積電鼓勵供應商將天然氣產製為氫氣過程排出的二氧化碳回收，再製為電子級液態二氧化碳回用台積電。
同時協助供應商採購碳中和天然氣，並導入地下管線直供氫氣予台積電南科廠區，為全台科學園區首件氫氣地管成功案例，提升供應商低碳轉型能力。
截至2024年6月，回用台積電的電子級液態二氧化碳逾3萬5000公噸，供應商使用碳中和天然氣年減碳3萬8000公噸，年省氫氣槽車運輸量逾5200台、約5萬公里路程，相當於繞行台灣超過50圈。
製造電子級氫氣可回收二氧化碳再利用
台積電進一步說明，氫氣是半導體先進製程的重要化學品，一般以蒸汽甲烷重整（Steam Methane Reforming, SMR）技術將天然氣脫硫後與去礦物質水蒸氣進行反應重組，再經一氧化碳高溫轉化器生成電子級氫氣，並連帶產出二氧化碳。為促進環境永續及提升二氧化碳使用效率。
2021年台積電攜手供應商於製氫廠設置二氧化碳回收純化系統，將其再製為電子級液態二氧化碳，同時與各廠區溝通製程變更、安排入廠驗證品質，確認回用的電子級液態二氧化碳達到廠內製程使用規格，確保後續生產品質符合標準。
今明年將完成18B、22廠氫氣地管建置可年省槽車運輸量逾1.5萬台
除再製並回用電子級液態二氧化碳，台積電也推動供應商採購碳中和天然氣，減少製氫過程的碳排放，且考量製程所需氫氣用量增加，為加速運輸效率與安全性，2019年與供應商、南部科學園區管理局合作於晶圓18A廠建置氫氣地管，並成為台積電新建廠區標準設計，不僅節省供應商槽車換車人力及運輸量，也提升氫氣供應穩定度，達成雙贏。
台積電強調，深化供應鏈永續性是公司發展ESG的重要一環，除增加回用電子級液態二氧化碳外，台積電將持續推廣供應商使用碳中和天然氣，並預計2024年10月、2025年1月分別完成晶圓18B廠、晶圓22廠氫氣地管建置，年省槽車運輸量逾1萬5,000台，一同朝半導體淨零供應鏈目標全力邁進。
