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台積電研磨墊片轉型　一文看懂如何邁向「無氯」時代

【記者蕭文康／台北報導】台積電（2330）積極攜手供應鏈落實綠色化學品管理，依據《供應商永續標準》有害物質管理規範對供應商進行教育訓練、稽核與輔導，確保製程使用的化學品符合國際法規與客戶要求。為持續精進供應鏈綠色製造能力，2023年推動「化學機械研磨墊片轉型計畫」，與供應商合作針對研磨墊片的原物料之一「含氯孔洞劑」進行替代性材料評估，在不影響製程品質及安全的前提下，成功研發無氯配方的研磨墊片。

導入材料分析資源，強化供應商應用能力

台積電2024年完成替代製程驗證，截至12月已導入晶圓12A廠、晶圓14A廠、晶圓14B廠、晶圓20廠，實現兼顧環保與品質雙重效益。台積公司先進分析暨材料中心處長陳明德說明，台積電攜手供應商率先將無氯孔洞劑導入研磨墊片，期許環境友善製程可以拓展至半導體產業，一同實踐綠色永續未來。

孔洞劑是製作化學機械研磨製程墊片的主要原物料，因其含氯配方被歐盟《化學品註冊、評估、授權與限制法案》（Registration, Evaluation, Authorization, and Restriction of Chemicals, 簡稱REACH）列為高關注物質（Substance of Very High Concern, SVHC）。

台積電攜手供應商研發無氯研磨墊片

基於保護人體健康並友善環境，台積電偕同孔洞劑及研磨墊片供應商投入無氯研磨墊片開發研究，針對既有的含氯孔洞劑成分、尺寸及膨脹性能進行分析，並因應先進製程技術材料需求，由先進材料分析中心、化學分析實驗室協助供應商強化金屬、化性分析能力，可更精確辨識各種替代性材料差異，做為研磨墊片生產參數的調整依據，研發出不同的無氯配方孔洞劑。

接著，再與近90種類型的研磨墊片進行組合測試，分別找出最合適搭配的孔洞劑，達到無氯研磨墊片製程最佳化目標。此外，台積公司亦要求研磨墊片供應商將孔洞劑尺寸列入固定進料檢驗程序，以及首次以統計製程管制（Statistical Process Control, SPC）方法把關品質管理，並結合多變數及化性圖譜分析來識別製程參數、分析變異來源等，確保供應商提供的無氯研磨墊片性能符合半導體製程規格與生產穩定性。

台積電強調，提升供應商製造標準與永續營運能力是台積電落實責任供應鏈的關鍵，秉持對有害物質管理的承諾，台積電預計2026年年底完成海內外廠區所有研磨墊片應用轉型，強化供應鏈綠色研發與製造實力，促進產業安全及環境永續發展。

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